Beschleunigung / Vibration

• Messbereich: +/- 15° oder +/- 30°
• Messrichtung: horizontal
• Signalausgang: -4V bis +4V

Die Sensoren beruhen auf einer weiterentwickelten „bulk micromachined“-Technologie. Die dreidimensionale Struktur der Sensorelemente beinhaltet ein Pendel aus einkristallinem Silizium. Dieses ist hermetisch zwischen zwei Siliziumplatten eingeschlossen. Daraus resultiert ein langzeitstabiler, hochauflösender und schockfester Sensor. Eine Gasdämpfung im Messelement verhindert ein Überschwingen, störende Resonanzschwingungen und filtert Vibrationen. Durch die Differenzmessung an Out X und Out Y werden zahlreiche (mögliche) Störquellen eliminiert und die Auflösung und Genauigkeit verdoppelt.

• Messbereich: +/- 4g oder +/- 2,5g
• Messrichtung: X,Y (parallel)
• Signalausgang: 0,5V bis 4,5V

Die Sensoren beruhen auf einer weiterentwickelten „bulk micromachined technology". Die dreidimensionale mikromechanische Struktur der Sensorelemente beinhaltet ein Pendel aus einkristallinem Silizium. Dieses ist hermetisch zwischen zwei Siliziumplatten eingeschlossen. Daraus resultiert ein langzeitstabiler, hochauflösender und schockfester Sensor. Eine Gasdämpfung im Messelement verhindert ein Überschwingen und störende Resonanzschwingungen. Durch das einfache Spannungs-Signal ist dieser Sensor auch an einer SPS und anderen gebräuchlichen Steuereinheiten einsetzbar.

Die auf kapazitivem Messprinzip basierenden Messelemente zeichnen sich durch hohe Genauigkeit und Schlagfestigkeit aus. Dies wird unter anderem durch die dreilagige „bulk“ Mikromechanik-Technologie mit hochreinem Silizium erreicht. Durch den speziellen Aufbau ist selbst nach harten Schlägen keine Drift wegen Deformation der Prüfmasse zu erwarten. Die Gasdämpfung innerhalb des Sensorelementes verhindert Resonanzfrequenzen und Überschwingen.

Der robuste, 2-achsige Beschleunigungssensor eignet sich für statische und dynamische Anwendungen (je nach Ausführung +/- 1,7…4g). Dank der Gasdämpfung des Sensorelementes werden hochfrequente Störungen (Schall, Resonanz-Frequenzen) ausgefiltert, bevor sie gemessen werden. Das robuste Metallgehäuse hat sich in vielen harschen Umgebungsbedingungen (auch Untertauch-Anwendungen) bestens bewährt.